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肇庆市科润真空设备有限公司

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磁控溅射法气体等离子体的沉积技术吗

2021-01-29 14:35:04

随着现代制造业的迅速发展,在我们周围的很多产品都已经应用于镀膜技术。那今天广东振华就和大家谈谈一种较为常见的镀膜工艺——真空磁控溅射膜。例如,如车窗玻璃、家用玻璃等,都采用真空磁控溅射镀膜技术进行镀膜,以满足一般玻璃所不具备的冷却、减低辐射的效果。

磁控溅射法是一种涉及气体等离子体的沉积技术,产生的等离子气被限制在含有待沉积物质的空间内,而溅射靶的表面被等离子体中的高能离子所侵蚀,这些等离子体释放的原子穿过真空环境,然后沉积在基片上,形成薄膜。

磁控溅射法

与蒸发镀膜相比,真空磁控溅射镀膜膜更为均匀,因此真空蒸发镀膜所镀出的膜厚度在中间通常会稍薄一些。

所以,由于我们不能控制真空蒸发镀膜的膜层厚度,在真空磁控溅射镀膜过程中,可以通过控制镀膜时间的长短来控制镀膜厚度,所以真空蒸镀不适合企业大规模生产。相反地,溅射镀膜在这方面就具有更大的优势。

所以相对于蒸发镀膜,真空磁控溅射镀膜具有膜厚均匀、控制灵活等优点,并具有以下特点:

磁控溅射镀的膜层纯度高,因而致密;

膜层材质柔软,膜层可以由大部分材料组成,包括普通合金,化合物等;

溅射膜的沉积率较低,且整体装置较为复杂;

负压溅射膜与作用基体之间有良好的粘结性能。


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