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掌握了真空镀膜机故障原因，就很容易知道处理方法。电镀设备发生故障后，应先向用户了解故障现象，然后亲自开机观察故障，以便更准确、更快捷、更合理地排除故障。
排错应该首先检查低真空是否正常(机泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室)，然后检查主泵是否正常(机泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室)，主泵正常后检查下室真空中是否正常，下室真空正常后再开高阀检查高真空，直至达到工作真空，极限真空，保真空，恢复真空，如极限真空和保真空正常，而主泵可能出现恢复真空和工作真空不正常。
有真空管道或系统内返油问题。
理由：
1.油蒸汽回流到真空管道或系统中。
二、油蒸汽压不正确。
三、油泵停止工作后，油回流。
四、截流阀板密封破损。
五、抽气管道底部密封腐蚀或损坏。
对策：
清洗油泵后，更换符合要求的油品。
清洗油泵后，更换符合要求的油品。
三、检查和更换切断阀。
四、更换隔断阀板。
五、更换抽气管，维修密封圈。
系统运行时温度过高。
理由：
一、石油缺乏。
二.抽气孔和排气孔连接不正确。
三、石油供应管道堵塞。
四、油泵有故障。
五外油泵来料加工堵塞问题。
六、环境温度达到或超过油性蒸汽压力。
七.指数低于油蒸汽压。
八、工作气体温度过高
对策：
一、燃料。
二、抽气管道与抽气口相连。
三、切断泵接头，清洗并更换合格的油。
四、修理或更换油泵。
五、油泵清理。
六.降低环境温度，注意空气流动。
七.更换所需泵油。
八、改变工艺或增加冷却系统。
