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油扩散泵的工作原理

2021-01-18 17:34:27

油扩散泵的工作原理为低蒸汽压油品。这样做的目的是使采用容积泵的更高真空(低压)的泵能够仅比使用更多。尽管其用途主要是在高真空范围内(降至10-9毫巴),但今天扩散泵产生的压力接近10-10毫巴时,便可用于现代流体和配件。让扩散泵高,超高真空更吸引人的是它的高真空抽气和抽速的单位成本低,速度比其它类型的泵都要快。该扩散泵不能直接排放到大气中,以前的级别的机械泵一般用来维持出口压力大约0.1毫巴。

油扩散泵

在将扩散泵拆装到系统中后,若系统内的一切都严格按照上述操作程序进行抽气,则应能达到泵的原位极限压力;如果仔细反复地调整各喷口间隙,真空度还应增加。若真空度不上升,则先检查泵所在系统是否有超过允许的漏气率;同时检查扩散泵加热器是否烧断,供电电压是否正常,泵冷却是否正常。若以上各方面都正常,则可认为是泵芯装配存在问题,如装歪、喷管间隙不当、泵芯装配前未清洗、有机溶剂未烘干、泵油不足或泵内装入劣质泵油、加热功率调节不当等。

真空系统的返流包括扩散泵泵液从扩散泵转移到真空室,以及机械泵油对系统的有机污染物,尤其是真空室。油液扩散泵工作时,无论采用哪种泵油,即使泵口加冷阱,也总会有部分油液回流至高真空端。他们在扩散泵口设定的压力,有时要比泵壁温度下的饱和油蒸气压力大得多。这种情况不仅影响到真空系统的极限压力,也给被抽真空容器带来了污染,因此返流率是扩散泵系统的主要检测指标。


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