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首先，解释扩散泵的工作原理。扩散泵依靠真空泵内部沸腾的油向上蒸发，向上蒸发的泵油通过泵芯的反射改变其运动方向向下运动(泵芯一般为三层结构，类似倒碗)。向下移动时，会带走顶部的气体，向下移动。气体到达底部时，由前级泵通过扩散泵底部的排气口抽走，通过连续循环达到抽真空的效果。
旋片真空泵。它具有结构紧凑、体积小、重量轻、噪音低、振动小的优点。因此适用于扩散泵的前置泵，更适合配套精密仪器和实验室使用。例如:质谱仪、冰箱流水线、真空冷冻干燥机等。可分为:①自净扩散泵:泵液中的挥发性杂质通过专用机械输送到出口而不返回锅炉的油扩散泵；②分馏扩散泵:该泵有分馏装置，使蒸汽压力较低的工作液蒸汽进入高真空喷嘴，而蒸汽压力较高的工作液蒸汽进入低真空喷嘴。它是一个多级油扩散泵。
扩散泵泵送系统可以适当配备一些传感器，当出现误操作、漏孔、冷却不良、泵液不足时，传感器可以发出信号关闭系统或保持系统处于安全状态。真空系统中的气动阀和电磁阀应能在设备出现故障时立即动作，使系统处于安全状态。当压缩空气或电源故障时，关闭除粗泵放气阀以外的所有阀门。应打开粗糙泵的放气阀，以防止机械泵油回流到粗糙泵管道中。
