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扩散泵有什么优势

2021-01-07 15:30:12

如果长时间使用后,扩散泵或扩散单元的泵送性能逐渐下降,即极限真空度和泵送速度降低,并且其他条件正常,则主要原因是扩散泵油逐渐被氧化并且质量变差。此时,应更换新的扩散泵油。换油步骤为:首先卸下扩散泵,取出泵芯,根据需要清洗并干燥泵芯,正确组装并添加新油。

由于特殊原因,例如真空计的爆炸,错误地打开真空容器放气阀或无法关闭高真空阀等,当扩散泵突然泄漏到大气中时,高真空应立即关闭阀门,以阻止扩散泵加热并迫使油底壳冷却。消除故障后,应进行泵送测试,并判断结果是否需要更换扩散泵油。

扩散泵

流量计可以安装在扩散泵冷却水管的出口(而不是入口)。借助于流量计的信号,系统控制器可以切断扩散泵的电源并关闭高真空阀和前级阀。在扩散泵冷却水管的入口处使用滤水器,以防止积垢堵塞水管并避免过早维护。安装在扩散泵泵壳外部的恒温开关和安装在锅炉上的热敏开关可用于检测泵壁和泵油的工作温度,还可以监测泵工作液的液位。当真空室中有泄漏时,热电偶压力计或Pirani压力计控制器上的设置值将自动发出控制器信号,以便它可以关闭高真空阀并导致前一级的前一级过高。施加压力时扩散泵的电源。许多液氮装置都配备了一个低液位警报传感器,当制冷剂耗尽时,该传感器会关闭高真空阀。


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