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扩散泵分为几类

2020-12-19 12:08:43

根据扩散泵工作原理,真空泵基本可分为气体收集泵和气体输送泵两类,真空泵主要包括水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵,目前我国国民经济各行业使用的真空泵都是指采用机械、物理、化学或物理化学方法,对被抽容器进行抽真空,从而获得真空的装置或设备。

为达到特定的工艺要求,在真空系统中,用来获得所需真空度的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵,即为主泵。前级压强:用来维持某一真空泵的前级压强低于其临界前级压强的真空泵。旋片或滑阀泵是如罗茨泵前配置的前级泵。三、粗抽油泵:从大气压下开始抽气,然后把系统压力抽到另一个真空泵上,使其开始工作。例如真空镀膜机上的滑阀泵,是粗油泵。

扩散泵

在将扩散泵拆装到系统中后,若系统内的一切都严格按照上述操作程序进行抽气,则应能达到泵的原位极限压力;如果仔细反复地调整各喷口间隙,真空度还应增加。若真空度不上升,则先检查泵所在系统是否有超过允许的漏气率;同时检查扩散泵加热器是否烧断,供电电压是否正常,泵冷却是否正常。若以上各方面都正常,则可认为是泵芯装配存在问题,如装歪、喷管间隙不当、泵芯装配前未清洗、有机溶剂未烘干、泵油不足或泵内装入劣质泵油、加热功率调节不当等。


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