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真空镀膜生产线结构

2020-12-18 11:31:07

目前卷对卷真空镀膜生产线(机)多为单室分室和多室结构,虽然这种生产设备结构简单,价格低廉,生产效率高,生产能力亦可,但仍存在以下缺点:当镀膜设备每一次完成一个镀膜工序,必须将整个真空设备真空室放空,破坏真空,将镀制好的底材取出,然后装入新的底材卷,使其重新真空化,使其能耗增加,影响生产效率,成本增加。

真空镀膜生产线结构

薄膜的制备是在真空条件下进行的,包括晶态下的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物薄膜,虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但真空镀膜通常是通过物理方法沉积薄膜。有三种形式的真空镀膜,即蒸发式、溅射式和离子式。真空膜的多功能性也决定了它的应用场合十分丰富。总的来说,真空镀膜的主要作用是使镀膜表面具有很高的金属光泽和镜面效果,使镀膜材料具有卓越的阻隔性,提供优良的电磁屏蔽和导电效果。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是基于真空技术,采用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的新工艺.简而言之,将金属、合金或化合物在真空中蒸发或溅射,使之凝固并沉积在涂覆物(称为基体,基片)上的方法,即真空镀膜。

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